EDX能量色散X射線分析作為一種快速分析手段，為我國(guó)的相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)提供了一種可行的、低成本的、并且是及時(shí)的，檢測(cè)、篩選和控制有害元素含量的有效途徑；相對(duì)于其他分析方法，XRF具有無(wú)需對(duì)樣品進(jìn)行特別的化學(xué)處理、快速、方便、測(cè)量成本低等明顯優(yōu)勢(shì)，特別適合用于各類相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)作為過程控制和檢測(cè)使用。

 

　　能量色散型儀器的優(yōu)勢(shì)在于：可以對(duì)樣品不作特別復(fù)雜的處理而直接進(jìn)行測(cè)量，對(duì)樣品也沒有任何損壞，適合直接用于生產(chǎn)的過程控制中，從熒光理論上，被測(cè)量樣品的預(yù)先處理是需要的，對(duì)于能量色散儀器來說，我們可以采取一些技術(shù)手段進(jìn)行校正來滿足實(shí)際生產(chǎn)控制的需要，但即使采用了技術(shù)校正的手段，對(duì)不規(guī)則樣品的直接測(cè)量也是以犧牲測(cè)量準(zhǔn)確度作為代價(jià)的。

 

　　EDX能量色散X射線分析具有較高的測(cè)量精度，但同時(shí)需要對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行簡(jiǎn)單處理，更適用于進(jìn)廠原材料、半成品、成品的準(zhǔn)確檢測(cè)和質(zhì)量控制；能量色散X熒光分析儀雖然測(cè)量精度稍差，但具有快速、直接測(cè)量各種形狀樣品的優(yōu)點(diǎn)，因此可直接在生產(chǎn)線上用于各種部件、電子元器件的檢測(cè)。

 

　　專業(yè)的講使用濾光片的目的是消除或降低X射線管發(fā)射的原級(jí)X射線譜，尤其是靶材的特征X射線譜對(duì)待測(cè)元素的干擾，可改善峰背比，提高分析的靈敏度。

 

　　能量色散X射線熒光分析儀有兩種類型的濾光片：初級(jí)濾光片和次級(jí)濾光片。

 

　　1、初級(jí)濾光片是將濾光片置于光管和樣品間，其目的是為得到單色性更好的輻射和降低待分析元素譜感興趣區(qū)內(nèi)的由原級(jí)譜散射引起的背景。

 

　　2、次級(jí)濾光片是將濾光片置于樣品和探測(cè)器之間，主要是對(duì)試樣中產(chǎn)生的多元素X射線熒光譜線進(jìn)行能量選擇，提高待測(cè)元素的測(cè)量精度。